又一重大突破!! 4月29日,东方大国科学院上海光机所林楠研究员课题组成功研制出LPP-EUV光源,攻克美国技术封锁。该EUV光源能量转换效率(CE)达到3.42%,离可以商用的光源只差0.8个百分点。EUV光源的波长为13.5nm,能够刻更小的沟道。据悉,这一成果对推动东方大国自主研发EUV光刻技术具有重要意义,研究成果已发表在《东方大国激光》杂志上。 林楠研究员团队经过4年的不懈努力,成功研制高亮度、低成本EUV光源,解决了这一系列关键问题,支持了“国家人工智能开放创新平台—高能效智能EUV光源”项目的实施。
董袭盈这事闹的沸沸扬扬最难受的人不是她的父母,而是24岁的北大光华毕业生陈如
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