国产半导体设备头部厂商:
-北方华创:刻蚀、薄膜沉积
-中微公司:刻蚀(5nm量产)、薄膜沉积
-盛美上海:清洗、电镀(铜互连设备破垄断)
-拓荆科技:薄膜沉积(国内唯一PECVD/ALD量产商)
-华海清科:抛光(CMP)、划切(12英寸设备独供)
-芯源微:涂胶显影(国内市占率第一)
-中科飞测:量测、检测(国内唯一2Xnm缺陷检测设备)
-封测领域:新益昌、华峰测控、长川科技
-至纯科技:SPM、清洗
-新凯来:全产业链布局
-盛美半导体:清洗、电镀
国产半导体设备头部厂商:
-北方华创:刻蚀、薄膜沉积
-中微公司:刻蚀(5nm量产)、薄膜沉积
-盛美上海:清洗、电镀(铜互连设备破垄断)
-拓荆科技:薄膜沉积(国内唯一PECVD/ALD量产商)
-华海清科:抛光(CMP)、划切(12英寸设备独供)
-芯源微:涂胶显影(国内市占率第一)
-中科飞测:量测、检测(国内唯一2Xnm缺陷检测设备)
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