这次湾芯展,最受关注的当属新凯来,有传言,新凯来已经搭了双层展台,外层贴着“干式DUV原型机首次公开演示’,内层拉帘封闭,只给预约客户看现场工作人员嘴里反复出现两个词:SAOP、5nm。SAOP就是“自对准四重成像”,用现有DUV光刻机硬啃5nm的秘籍。新凯来把整套方案塞进自家“干式DUV”里,号称2026年小批量交付,国产化率从眼下的20%拉到50%,直接对标ASML1980Di。另外,新凯来子公司万里眼官网公布了四款设备,超高速实时示波器,矢量信号发生器,信号与频谱分析仪,数字网络测试仪。
这次湾芯展,最受关注的当属新凯来,有传言,新凯来已经搭了双层展台,外层贴着“干式DUV原型机首次公开演示’,内层拉帘封闭,只给预约客户看现场工作人员嘴里反复出现两个词:SAOP、5nm。SAOP就是“自对准四重成像”,用现有DUV光刻机硬啃5nm的秘籍。新凯来把整套方案塞进自家“干式DUV”里,号称2026年小批量交付,国产化率从眼下的20%拉到50%,直接对标ASML1980Di。另外,新凯来子公司万里眼官网公布了四款设备,超高速实时示波器,矢量信号发生器,信号与频谱分析仪,数字网络测试仪。
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