芯片先进制程，我们何止只缺EUV光刻机，其实缺的关键设备和材料老多了。比如： ▪️EUV光刻机——只有荷兰ASML有，我们无 ▪️等离子蚀刻机——美国Lam Research ▪️薄膜沉积PVD/CVD——美国 Applied Materials ▪️CMP设备——美国 Applied Materials ▪️离子注入机——美国 Applied Materials ▪️清洗机——日本Tokyo Electron ▪️等离子检测——美国KLA ▪️EUV光刻胶——日本JSR ▪️抛光液——美国cobot ▪️电子气体——美国Air Products ▪️仿真——德国西门子EDA ▪️仿真——美国的Cadence ▪️仿真——美国的Synopsys
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