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国内光刻机行业正处于破局与攻坚的关键阶段。最近,北京大学彭海琳教授团队的研究为光

国内光刻机行业正处于破局与攻坚的关键阶段。最近,北京大学彭海琳教授团队的研究为光刻产业链提供了全新视角,改变了光刻工艺。 此前,千台ASML光刻机陷入维修困境,三成设备面临配件断供危机,中芯国际一台光刻机因未及时更换激光器,生产良率大幅下降。这既考验了中国半导体供应链韧性,也成了国产技术突破的“催化剂”。 在政策与市场双重驱动下,行业从“被动承压”转向“主动破局”。2024年中国大陆半导体设备市场规模预计达490亿美元,本土生产设备占比首超50%,正从“跟跑”迈向“并跑”。