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上海微电子中标 1.1 亿元光刻机项目

IT之家12月25日消息,据中国政府采购网今日公示,上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称“上海微电子”)中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目,设备数量为一台,成交金额1.1亿元。

成交公告显示,中标供应商名称为上海微电子装备(集团)股份有限公司,供应商地址为上海市张江高科技园区张东路1525号。中标货物名称为步进扫描式光刻机,货物型号为SSC800/10。

公开资料显示,上海微电子成立于2002年,主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、PowerDevices等制造领域。

IT之家查询发现,上海微电子官网列出了SSB300、SSB500系列步进光刻机。