半导体设备ETF基金（159327）成立于2024年7月24日，基金全称为万家中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为万家中证半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。半导体设备ETF基金（159327）业绩比较基准为中证半导体材料设备主题指数收益率。

规模方面，截止1月6日，半导体设备ETF基金（159327）最新份额为3.13亿份，最新规模为6.29亿元。回顾2025年12月31日，半导体设备ETF基金（159327）份额为3.07亿份，规模为5.61亿元。即该基金今年以来份额增加1.96%，规模增加12.07%。

流动性方面，截止1月7日，半导体设备ETF基金（159327）近20个交易日累计成交金额8.71亿元，日均成交金额4355.91万元；今年以来，3个交易日，累计成交金额2.45亿元，日均成交金额8172.57万元。

半导体设备ETF基金（159327）现任基金经理为吴宜蓉。吴宜蓉自2025年9月30日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-0.80%。

最新定期报告显示，半导体设备ETF基金（159327）重仓股包括中微公司、北方华创、长川科技、沪硅产业、华海清科、拓荆科技、南大光电、安集科技、中科飞测、芯源微，持仓占比如下。

股票代码股票名称持仓占比持仓股数（股）持仓市值（元）688012中微公司16.25%25.63万7663.11万002371北方华创13.81%14.40万6514.66万300604长川科技5.55%26.27万2617.02万688126沪硅产业5.37%98.20万2533.63万688120华海清科5.15%14.70万2428.72万688072拓荆科技4.59%8.32万2164.39万300346南大光电3.79%41.16万1787.12万688019安集科技3.40%7.01万1602.21万688361中科飞测3.28%13.33万1546.68万688037芯源微3.03%9.59万1429.36万

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