转自：辽宁日报

本报记者崔治

碳纤维隔热毡是一款半导体核心耗材。2020年的数据显示，在国内碳化硅晶圆制造领域，国产石墨毡的采购占比不足1%，几乎完全依赖进口。如今，在位于鞍山市的辽宁奥亿达新材料股份有限公司，这款产品正源源不断地被生产出来，奔赴国内头部企业的第三代半导体碳化硅晶圆生产线。

“可别小看这黑黑的毡子，它可是芯片制造的‘热场守护神’！以前都是依赖进口，现在，咱鞍山也能生产了。”研发中心内，公司研发总监郑淑云告诉记者。在碳化硅长晶炉上千摄氏度的高温环境中，这款隔热毡是维持稳定热场的关键，其纯度每偏差万分之一，都可能导致整炉价值不菲的晶棒报废。

这款核心耗材曾长期让国内半导体企业受制于人。而且进口产品的订货周期长达数月，一旦出现故障，维修协调要跨国沟通，耗时又耗力。

打破这一僵局的，正是深耕高温热场材料领域十余年的辽宁奥亿达。作为国家级专精特新重点“小巨人”企业，辽宁奥亿达依托大连理工大学等科研院所，组建起专业研发团队，把实验室搬到生产一线，针对碳纤维从原料提纯到成品加工的全流程关键技术逐一攻关。无数个日夜的反复试验，换来16项发明专利的丰硕成果，产品灰分含量、热导率等核心指标达到国际先进水准，抗氧化性和使用寿命更是实现超越。

公司样品检测区的实验数据极具说服力。实验报告显示，辽宁奥亿达碳纤维隔热毡在2400℃高温环境下连续工作1000小时，性能衰减率仅为5%，显著低于进口产品8%的衰减率。

“在碳化硅长晶炉的苛刻工况下，我们通过了行业最严格的实地测试，用实打实的数据彰显了实力。”郑淑云的语气坚定有力。如今，这款填补国内空白的半导体热场用碳纤维隔热材料，已在多家行业龙头企业实现批量替代进口，完成了公司创办以来的第三次进口替代。

“连续运行800多个小时，性能稳得很！”谈及使用体验，新能源科技公司采购部的经理们算起了实惠账，“这款产品的价格比进口货低不少，交货周期直接缩短80%，综合核算下来，一台6英寸SiC长晶炉一年能节省数十万元成本。”公司的订单显示屏上，国内外采购需求数字被不断刷新，见证着“鞍山造”的市场认可度。

为助推半导体产业链自主可控，辽宁奥亿达推出提供免费样品、全程技术陪护、保障性交付等一系列举措，用诚意和实力打消客户的顾虑。“下一步，企业将加速推进第一代半导体隔热毡的进口替代，持续为国产半导体产业注入底气。”郑淑云充满信心地说。