2月9日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘涨1.64%，报1.425元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，中微公司开盘涨1.62%，拓荆科技涨1.72%，华海清科涨2.05%，沪硅产业跌0.77%，中科飞测涨2.08%，安集科技涨1.85%，芯源微涨5.42%，天岳先进涨1.96%，华峰测控涨3.28%，盛美上海涨1.77%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为40.11%，近一个月回报为6.30%。