2月10日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘涨0.07%，报1.434元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，中微公司开盘涨0.00%，拓荆科技涨0.19%，华海清科跌0.06%，沪硅产业跌0.14%，中科飞测跌0.18%，安集科技涨0.00%，芯源微涨0.21%，天岳先进涨0.03%，华峰测控涨2.28%，盛美上海跌0.32%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为43.27%，近一个月回报为2.10%。