2月11日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘涨0.00%，报1.435元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，中微公司开盘跌0.71%，拓荆科技涨0.02%，华海清科涨0.17%，沪硅产业涨0.58%，中科飞测涨0.61%，安集科技跌0.24%，芯源微涨0.08%，天岳先进涨0.00%，华峰测控涨0.41%，盛美上海跌0.19%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为43.50%，近一个月回报为2.27%。