2月13日，科创半导体设备ETF鹏华（589020）开盘跌0.42%，报1.418元。科创半导体设备ETF鹏华（589020）重仓股方面，中微公司开盘跌0.63%，拓荆科技跌0.34%，华海清科跌0.05%，沪硅产业跌0.15%，中科飞测跌2.19%，安集科技跌1.37%，芯源微跌0.28%，天岳先进跌0.35%，华峰测控跌0.10%，盛美上海跌1.18%。

科创半导体设备ETF鹏华（589020）业绩比较基准为上证科创板半导体材料设备主题指数收益率，管理人为鹏华基金管理有限公司，基金经理为林嵩，成立（2025-08-27）以来回报为42.34%，近一个月回报为0.84%。