你敢信吗?一个能在台积电3纳米应用科学家达博放弃了日本终身教授回国了,关键是他是专攻纳米芯片特种材料的,全世界能摸到门道的就这么几个人,而这次中科大把他请回来了,光刻机、刻蚀机这些大家都听过,和机器里关键部件、特种材料到底怎么做出来,全世界真正摸到门道的就那么几个人,达博是其中一个。
这种水平的人回来,跟普通意义上引进一个海归教授完全两码事。很多人对卡脖子的理解还停在机器上,更狠的卡点在材料上。一台顶级刻蚀机,一台电子束设备,拆开看里面最娇贵的是核心部件和材料,差一点点纯度,差一点点工艺,整机的精度就垮。这层东西不光中国缺,全世界能稳定做出来的也屈指可数,达博这些年研究的正好就是这一层,所以他这一步迈回国内,等于把链条最软那一级的人才直接补了进来。
达博出生在甘肃陇南康县秦巴山里头的小县城,他是从山里考出来的当地状元。2004年进中国科学技术大学本科、硕士、博士一口气念下来,9年全砸在凝聚态物理上,本科毕业论文盯的就是电子束曝光机的工艺,师从丁泽军,他20出头就一头扎进半导体装备上,根基特别深。2013年他去了日本,进的是NEMUS日本国家层面唯一一家专做材料研究的机构,一进门就开始破纪录,别人评终身教职要熬3~5年,他一年就拿下,成了这家机构历史上最年轻的终身学者,也是最年轻的独立项目负责人。他在日本到底牛在哪?
第一,电子束有效利用率这个老大难他给突破了。日本学界给的评价分量很重,说这份原创性能跟准晶的发现摆在一个层面上。第二,他搞数据驱动的能谱分析,用所谓白电子技术去控制二次电子能谱当探针,把二维材料的检测效率往上提了一大截,2016年首尔原子级表征的国际会议,他拿了学生组第一名。
第三,2017年4月1日刚转正没多久,他就在NIMS年会上做报告,当天又报回机构发给终身研究者的最高奖,到2022年,他更出圈了,他提的一句机构口号被NIMS采用,到今天仍挂着用。一个外籍人士的提议被日本国家级研究机构这么正式的用上,这是头一遭。同一年,他成了日立全球财团苍天奖唯一受邀的外籍人选,靠的是他用在内科镜上的旋转晶体微聚焦X射线源。真正值钱的活从2022年起,他牵头NIMS跟美国范林集团的联合研发。范林什么来头,全球半导体设备和服务的前三强,美国手里最硬的几张牌之一,跟应用材料东京电子在一个段位。这个项目主攻的就是电子束设备和刻蚀设备的关键材料和核心部件,全是整机里最要命的零件。不少报道讲这套成果用到了台积电日本那条3纳米量产线上,台积电自己出来回应过,说他们目前并没有3纳米厂,也说没跟达博本人有直接合作。真实的链条是这样的,NIMS和范林合作,成果进了范林的设备,至于这台设备最后卖给谁,装在哪条产线上,设备厂从来不点客户的名,外界把它跟台积电这类大厂联系起来,属于合理推测,台积电没承认。但有一点不用争,他做的就是全世界最前沿生产线才用得上的东西,这个水准是实打实的,不是吹出来的。
那他回来意义到底在哪?往产业上看,中国芯片制造被掐的最紧的真不全是光刻机这一个口子,5纳米以下先进制成要用的核心部件、刻蚀材料这些现在仍高度靠进口,国内能顶上的很少,这恰恰是整条产业链上最薄的一段,达博瞄的就是这一段,而且他不是去补理论,是去补能够量产、能够落地的那部分。今年4月27日,范林一听说他铁了心要辞职,又一次提出无偿捐赠,想把人留下来接着做合作研究,海外也有好几家企业开了相当优厚的条件等着他。这些都没拽住他,他照样把日本的终身职位退了,全职回国进中科大任讲席教授,更关键的是,他不是一个人空手回来,是带着整支队伍回来的。从2016年起,他就在有意识的组队,把中科大师兄弟一个个聚到身边,跟了他好多年,彼此配合的熟透,从最底层的基础研究一路到工程验证,整条流程他们自己就能跑通。
现在团队成员已经分批先回了国,到了合肥参与国镜仪器科技的产业化平台建设。国镜这家公司专做电子显微镜和半导体检测设备的研发、制造和销售,创始人也是中科大校友,背后有中科大和合肥市一起托着。早在2023年,人民日报海外版就报道过他的一部分团队已经从日本撤回,在光电这块做工程化和产业化的摸索。把这事往大点看,芯片这场较量,比的从来不只是谁论文多,谁奖项硬,真正决定输赢的是能不能把核心材料、核心部件一步步做到国际水平,是能不能把原意做工程化的人留住用好,把从底层材料到量产部件这条自主的链子一节一节焊起来。达博带着整队人回来做的就是这条路。这一步迈出去,比任何一篇顶刊都更顶用。