近日美方向阿斯麦提出一项质疑,怀疑该公司最先进的极紫外光刻机可能已流入中方。阿斯麦的回应很干脆:从未向中方出口过EUV整机或专属部件。荷兰外交部也站出来表态,称所有受管控设备均需严格审批,政策执行没有漏洞。
美方拿不出证据。商务部长卢特尼克在今年4月的一场闭门会议上向阿斯麦高管表达了担忧,称情报线索显示可能有完整EUV光刻机或核心零部件绕开出口管制进入了中国大陆。但当被要求出示设备编号、物流单据或交易记录时,美方官员以信息敏感性为由无法提供任何实质材料。
从物理常识看,偷运一台EUV整机几乎不可能。这台设备重达180吨,体积相当于一辆中型客车,运输需要拆成上百个模块,动用多架波音747货机,安装调试周期长达一年。全球314台在役EUV和26台退役设备全部登记序列号并记录部署地点,远程运维链路可实时追踪,中国境内登记数据为零。阿斯麦强调,公司定期与全球政府对话,始终遵守美国和荷兰法规。
有分析认为,美方的真正意图不在于追查一台不存在的机器。美国国会已在推动更严厉的法案,目标是将限制范围扩大到深紫外光刻机及其售后服务,一旦通过,阿斯麦约五分之一的收入将受到影响。另一种解读是,美方情报部门可能捕捉到了中国在EUV技术自主研发上的进展,又不愿公开承认中国有能力突破,于是将技术进展曲解成设备偷运,为升级封锁制造舆论。
中国外交部的回应是反对美国泛化国家安全概念、胁迫他国搞科技封锁,敦促荷兰秉持市场原则维护产业链稳定。目前美国商务部未对事件做进一步评论,阿斯麦坚持合规声明,荷兰政府维持现有出口管控政策。
卢特尼克的指控没有证据,阿斯麦的台账没有缺口,荷兰的出口审批记录也没有异常。EUV光刻机不是一颗芯片,它装不进手提箱,藏不进集装箱,每一台都刻着编号、连着网、需要原厂工程师定期维护。一台180吨重的设备要凭空出现在中国境内,需要全球几千家供应商集体噤声,需要海关、保险、物流公司同时丢失记录,这比设备本身更不可能。美方的焦虑也许不在走私,而在封锁体系本身。封锁需要对手一直追不上,一旦追近,手上的牌就不够了。
