半导体设备核心上市公司名单

一、平台型综合设备龙头（全品类覆盖）

1. 北方华创 国内唯一全流程平台厂商，覆盖ICP刻蚀、PVD、CVD、热处理、炉管、清洗、离子注入，收购芯源微布局涂胶显影，国内晶圆厂第一大国产设备供应商。2. 万业企业 子公司凯世通：离子注入机国产龙头，覆盖逻辑、存储、功率半导体离子注入设备。

二、刻蚀设备（芯片制造核心设备）

1. 中微公司 CCP电容刻蚀全球第一梯队，介质/导体刻蚀覆盖7nm/5nm先进制程，3D NAND存储刻蚀主力国产设备。2. 北方华创 ICP电感刻蚀成熟制程批量供货，功率、存储产线高渗透。3. 屹唐股份干法刻蚀、干法去胶机，全球市占第二，成熟产线去胶设备主力。

三、薄膜沉积设备（PVD/CVD/ALD）

1. 北方华创 ：PVD物理气相沉积国内龙头2. 拓荆科技 ：PECVD化学薄膜沉积国产唯一大规模量产，适配DRAM、3D NAND、HBM先进封装3. 微导纳米 ：ALD原子层沉积设备，先进制程、存储薄膜关键设备4. 先锋精科 ：刻蚀/薄膜设备核心工艺零部件供应商

四、清洗设备

1. 盛美上海 ：单片式清洗龙头，SAPS兆声波清洗技术，先进制程清洗国产化率领先2. 至纯科技 ：槽式湿法清洗+高纯工艺系统，配套晶圆厂化学品供给3. 富乐德 ：半导体腔体、零部件精密清洗再生服务

五、CMP化学机械抛光（晶圆平坦化）

华海清科 ：国内唯一12寸量产CMP整机厂商，存储、逻辑产线批量导入

六、光刻配套/涂胶显影（光刻机整机无A股上市公司）

1. 芯源微 ：前道涂胶显影Track设备国产龙头，适配12寸晶圆产线，北方华创控股2. 芯碁微装 ：直写光刻设备（面板、第三代半导体、掩膜版）3. 张江高科 ：参股上海微电子（国产光刻机整机，未上市）

七、量测/检测设备（工艺监控、缺陷检测）

1. 中科飞测 ：光学膜厚、3D形貌、晶圆缺陷检测前道龙头，对标KLA2. 精测电子 ：膜厚、OCD关键尺寸量测，存储芯片产线放量3. 赛腾股份 ：晶圆外观缺陷检测、半导体自动化检测设备

八、离子注入设备

1. 万业企业（凯世通：中束流、大束流离子注入机2. 电科装备（中科信，未上市）：高能离子注入，无A股主体

九、后道测试设备（封测环节）

1. 长川科技 300604：数字/模拟测试机、分选机，A股测试设备营收第一2. 华峰测控：模拟/混合信号、功率器件测试机龙头3. 矽电股份 ：12寸晶圆探针台国产替代核心标的4. 金海通 ：半导体分选机5. 联动科技 ：分立器件、功率半导体测试设备

十、配套特种设备/零部件设备厂

1. 京仪装备 ：半导体专用温控、真空设备2. 富创精密 ：半导体设备精密金属零部件（腔体、法兰）3. 恒运昌：真空管路、洁净零部件4. 中科仪 ：真空分子泵、真空设备配套财经端午节世界杯