电子特气能量产有订单的公司
截至2026年6月,国内具备电子特气能量产且已获头部晶圆厂正式订单的核心上市公司主要集中在第一梯队,部分企业订单已排至2027-2028年 。
核心量产且有订单企业(第一梯队)
中船特气 (688146):全球六氟化钨龙头,产能2230吨/年(全球第一),纯度达6N批量供货、7N级验证中。客户覆盖台积电、三星、中芯国际、长江存储等,国内市占率超70%,订单饱满排至2027年 。
昊华科技 (600378):国内第二,六氟化钨产能600吨/年(6N级稳定量产)。已切入台积电、三星、中芯国际、长鑫存储供应链,大基金二期入股,产品通过多项高端认证 。
中巨芯 (688549):巨化股份控股,六氟化钨产能600吨/年(5.5N-6N)。实现高纯氯气、氯化氢等量产,稳定向中芯国际、华虹、长江存储批量供货 。
华特气体 (688268):民营标杆,佛山基地200吨/年(6N)、九江在建300吨/年。唯一通过ASML认证的国内企业,获中芯国际、华虹、长鑫存储订单,乙硅烷、溴化氢等新品已产生销售 。
其他具备量产能力或订单突破企业
凯美特气 (002549):高纯氦气实现5N-6N规模化批量供货,覆盖半导体、航天领域,依托尾气回收技术降低成本,持续对接长期用气订单 。
正帆科技 (688596):虽以工艺介质系统为主,但其特种气体(砷烷、磷烷等)在合肥、铜陵基地已投产,服务于中芯国际、长江存储等一线晶圆厂,Gas Box业务订单强劲 。
多氟多 (002407):六氟化钨等含氟特气已通过认证并部分量产,处于第二梯队,正加速产能爬坡与客户导入 。
重要提示
排除伪概念:如和远气体,其电子级六氟化钨等产品截至2026年6月仍处于试生产阶段,尚未取得头部半导体企业正式认证及产生业绩,暂无实质量产订单 。
行业现状:受海外供应链收缩及AI芯片扩产驱动,高端特气(如六氟化钨、三氟化氮)普遍供不应求,头部企业产线满负荷运转,订单交付周期延长至12-24个月 。
注:具体订单金额及动态随市场变化较快,投资前建议查阅公司最新公告或研报核实。