能量产高纯7N四氟化硅有订单的公司有哪些
目前公开资料中,尚无公司明确披露已实现“7N级(99.99999%)四氟化硅(SiF₄)”的稳定量产并拥有公开确认的大额订单。行业现状如下:
核心结论
唯一量产企业为6N级:多氟多旗下浙江中宁硅业是国内唯一能量产半导体级高纯四氟化硅的企业,但当前量产纯度为6N级(99.9999),产能300吨/年,已批量供货中芯国际、京东方、台积电等,并非7N级 。
7N级处于送样或中试阶段:多家企业正在推进7N级四氟化硅研发,但均未进入大规模量产和订单交付阶段。
易混淆概念:市场上大量提及的“7N级四氯化硅(SiCl₄)”与“四氟化硅(SiF₄)”是两种不同物质,前者主要用于光纤,后者用于半导体刻蚀,请勿混淆 。
相关公司进展梳理
多氟多(002407)/ 中宁硅业
产品:高纯四氟化硅(SiF₄)。
纯度:稳定量产6N级,内控标准优于行业通用6N,未公开证实7N级量产。
订单情况:6N级产品已获中芯国际、京东方、台积电等订单,部分出口日韩 。
规划:在建华中氟硅产业园5000吨/年高纯SiF₄新产线(预计2026落地),目标指向高端半导体应用,但具体是否包含7N级及订单细节未披露 。
中船特气(688146)/ 派瑞特气
状态:拥有四氟化硅合成装置专利,具备技术储备 。
现状:公开资料主要聚焦其7N级六氟化钨(WF₆)和三氟化氮(NF₃),未明确披露7N四氟化硅的量产订单 。
其他企业(泰和科技、兴发集团等)
泰和科技:研发的是7N级四氯化硅(SiCl₄),用于光纤预制棒,已完成小试,非四氟化硅 。
兴发集团:四氯化硅处于送样验证阶段,主攻6N-7N光纤级,非四氟化硅 。
重要提示
技术壁垒:7N级四氟化硅对金属杂质控制要求极高(