半导体业务 1.业务概述 百傲化学公司芯慧联致力于半导体设备的研发、生产和销售，同时提供相关的技术支持和售后服务。报告期内，芯慧联已形成涵盖黄光制程设备、湿法清洗设备、半导体产线用自动化设备、电化学沉积设备、面板显示干法刻蚀设备、半导体设备综合化服务六大业务板块，主要服务于集成电路、功率半导体、化合物半导体、新型面板显示、功率器件、微机电系统（MEMS）等细分领域。公司注重技术创新，旨在为客户提供高精度、高可靠性的半导体设备及工艺解决方案。 2.主要业务及应用领域 ·半导体设备制造：包括黄光制程设备自主研发、再制造及相关技术服务，湿法清洗设备和电化学沉积设备的研发、生产和销售，主要应用于晶圆加工的关键工艺步骤。 ·泛半导体设备制造：包括大世代干法刻蚀设备研发、生产和销售，主要应用于高世代LCD、AMOLED、 柔性OLED及Mini/Micro-LED显示面板制造，覆盖LTPS、Oxide、LTPO等先进背板工艺，服务超大尺寸、8K超 高清、车载、折叠屏等高端显示产品，是新型显示产业实现高精度电路加工与高性能面板量产的核心关键装备。 ·半导体产线用自动化设备：包括设备前端模块（EFEM）、晶圆封装机、分选机、面板级PLPEFEM等自 动化设备的自研销售，主要用于半导体、显示面板、有机光伏等设备产线的自动上下料，提高生产效率。