半导体设备板块震荡回升，早盘板块指数一度跌超4%，屹唐股份(sh688729)涨超8%，华峰测控(sh688200)、中微公司(sh688012)、长川科技(sz300604)、先锋精科(sh688605)、盛美上海(sh688082)跟涨。