咱们中国的光刻机到底是如何突破的？有一个细节非常的有意思

西方厂子造光刻机，先想卖全球。机器塞进集装箱能空运，于是拼命做小做标。运输省事，可精度难、成本高，几十年经验堆出来的。

咱早期也照抄，想造同款小机器。抄不来，人家专利绕死你，装配公差学不会。

转个弯。咱不跟它比“小”，改比“稳”。厂房里机座做大做重，减震好，温度稳，光束抖得少。零件不塞集装箱，直接在大厂房里搭。不是一台便携机，是一条固定产线。

网友吵“做大没用”，这话对一半。激光频率不因为机架大就变高，透镜不因为壳大就清。但大机架能隔震、隔温、隔尘，间接把套刻精度稳住。咱路线是：光源自研、镜片自研、控制系统自研，机架用土建补物理短板。

有人吹“清华造世界第一台光刻机”，那是早期接触式曝光机，跟现在EUV两码事。别混。

突破不是一夜神奇。是光源从汞灯换准分子再攻EUV，镜片从进口磨到国产镀膜，双工件台自己写算法。一步步替掉“卡脖子”件。

西方求小求卖，咱求稳求产。自家厂里能跑出芯片，比机器能否上飞机重要。这局，踏实最爽。