NAND 制造正从钨转向钼(Mo)
🔧NAND 制造正从钨转向钼(Mo):3D NAND 在十年前就停止了侧向缩小,它通过堆叠层来扩展。⚠️但是当层数超过~300 层时,连接每个存储单元的钨字线遇到了瓶颈:电阻太高,基于氟的化学反应导致泄漏,而且在超深孔中填充失败。✅解决方案是钼。更低的电阻(更快的读 / 写速度),无需氟化物,而且它能更好地填充高深宽比特征。💡钼不是一种优化,它对于300 + 层 NAND 是必需的。(1/4)📊【为何 3D NAND 存储在 300 层节点发生技术转向】📌小于 300 层:采用钨(W),技术已达极限🔻1. 性能受损,信号传输缓慢🔻2. 存在漏电风险,制程构建不稳定🔻3. 制程构建失败,孔洞深度过大📌大于 300 层:采用钼(Mo),代表未来技术方向🔹1. 性能优异,信号清晰快速🔹2. 制程构建稳定,存储层安全可靠🔹3. 制程构建无缺陷,孔洞填充效果完美💎钼(Mo)技术,让300 层以上存储堆叠成为可能。🏭行业当前的状况:量产仍处于 2xx 层级。📑铠侠 / 闪迪达到 218L,美光 276L,三星 286L,而 SK 海力士的 321L 处于领先地位。🚀向 3xx‑4xx 层级的转变现在开始。📈我们预计,钼将从 2025 年占 NAND 容量的中个位数百分比增长到 2027 年的约 30%。(2/4)📋每家主要的 NAND 制造公司都已承诺布局钼字线技术。🟠三星:先行者,自 2024 年起大规模生产钼字线🟠美光:2025 年在泛林的 ALTUS Halo 设备上实现量产🟠SK 海力士:到 2026 年底采用钼的 375 层 NAND(3/4)🛠️每一次钨→钼转换都意味着需要全新的沉积工具。💰我们估计,仅在 2027 年,NAND 钼沉积工具的销售额将超过 10 亿美元,到 2030 年,随着 DRAM 和逻辑芯片的跟进,增长至约 20 亿美元 / 年。🏷️泛林将首先受益,东京电子也将从中获益。📌应用材料、阿斯麦和北方华创则将受益于 DRAM / 逻辑芯片的技术浪潮。