【战略金属】研究机构SemiAnalysis称,NAND制造正从钨转向钼。NAND在十年前就停止了侧向缩小,它通过堆叠层来扩展。但是当层数超过~300层时,连接每个存储单元的钨字线遇到了瓶颈:电阻太高,基于氟的化学反应导致泄漏,而且在超深孔中填充失败。解决方案是钼。更低的电阻(更快的读/写速度),无需氟化物,而且它能更好地填充高深宽比特征。钼不是一种优化,它对于300+层NAND是必需的。
【战略金属】研究机构SemiAnalysis称,NAND制造正从钨转向钼。NAND在十年前就停止了侧向缩小,它通过堆叠层来扩展。但是当层数超过~300层时,连接每个存储单元的钨字线遇到了瓶颈:电阻太高,基于氟的化学反应导致泄漏,而且在超深孔中填充失败。解决方案是钼。更低的电阻(更快的读/写速度),无需氟化物,而且它能更好地填充高深宽比特征。钼不是一种优化,它对于300+层NAND是必需的。