半导体设备产业链从制造到检测的详细步骤。
半导体设备产业链的环节比很多人想象的要细碎得多,每一步容错率都低到离谱。
最开始是硅片制造环节,先把石英砂提纯到99.999999999%的电子级多晶硅,再拉成2米长的单晶硅晶棒,切片抛光之后才能得到基础晶圆,这一步用的单晶炉、切片机,精度差一丝后面全废。
接下来是晶圆制造,光刻、刻蚀、沉积、离子注入轮番上阵,光光刻就要反复走几十次,EUV光刻机对准精度得控制在几纳米级别,差半根头发丝的十万分之一都出残品。
最后到检测环节,每做完一道工序就要过一次光学外观检测,全片扫一遍有没有纳米级的缺陷,全部制程走完还要做电性测试,把漏电流、导通参数不达标的芯片直接筛掉,良率能不能到90%全靠这些检测环节兜着。
