亮剑了啊,我国新一代光刻机模型亮相。
终于不再只是“据说”和“即将”了。
上海微电子这次摆出来的SSC800和SSB800,是前道干式光刻机。说人话就是,它不追EUV那个最尖的梦,先把I-line和KrF这两条成熟制程的路踩实了。网上有人嫌不够“炸”,可晶圆厂不看展台看台账。多台设备已经在国内头部逻辑和存储产线上跑了很久,累计流片超千万片,有效运行率超92%。这个数字比任何模型都重——机器停一天,产线亏的是真金白银,能稳定跑出这个量,说明它不是在实验室里娇养着的。
更让人踏实的是那句话:物镜、照明、双工件台,全链条自主可控,关键零部件国产化率破了90%。以前听“自主可控”听得耳朵起皮,但这次是落在了一台已经在产线上干活的机器身上。干式平台摸透了,往上加东西心里才有底。
当然,清醒的话也得说。这是成熟制程的底座,不是明天就能把浸没式甚至EUV拉进厂房的现货。但底座立住了,上面才好搭东西。
今天为92%的运行率转一下,比空喊口号实在。
