在全球集成电路制造产能持续紧张的背景下，近两年我国集成电路相关领域的投资显著增加。

这种背景下，半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅增长，这一趋势也带动了对PEEK材料需求的上升。

在半导体产业中，PEEK材料制成的CMP保持环和晶圆盒越来越受到关注，并得到了广泛应用。

PEEK材质晶圆盒的优势

而中研股份本次推出的四款PEEK产品，便是晶圆盒的理想选择。Part1产品介绍

中研股份专为晶圆盒这一特定应用场景研发了这款产品。自2021年推出第一代晶圆盒产品以来，公司研发团队持续专注于技术创新，成果显著。

目前，中研股份的晶圆盒专用产品包括 310WA251 、310WA252、310WA253 和 310WA254 四个牌号。

其防静电性、易加工性和外观上均有卓越表现。

Part2产品优势1卓越的防静电性能

目前晶圆盒专用产品的表面电阻率可达 - 。也可根据客户需求，达到客户需求的防静电等级。2测试认证评估

已通过禁用物质（如RoHS、REACH等）测试，也通过了金属离子和表面阴阳离子测试。3良好的加工性能

在加工性能方面，晶圆盒专用料继承了中研股份PEEK产品易加工的特点，表现同样优秀，适用于晶圆盒注塑成型加工 。

4良好的尺寸稳定性

晶圆的尺寸是固定的，产线是高度自动化，晶圆要装载到晶圆载具中时，需要晶圆盒的内部齿形部分的尺寸是稳定的，少许的偏差会导致晶圆损坏。并且在高低温循环后依然能够保证尺寸稳定。

因此，晶圆盒的尺寸稳定性至关重要。

5良好的注塑外观

晶圆载具外观光滑平整，没有明显的花纹和流痕。

Part3产品工艺

我们的晶圆盒产品使用“溶液-研磨-高速”分散工艺：

溶液分散能使助剂均匀附着于PEEK表面，增强PEEK的表面活性；

研磨分散能使导电剂与PEEK紧密贴合，使产品的电性能更加稳定；最后通过高速分散使填料与各组分均匀分散，保证产品质量稳定性和一致性。

Part4产品详解

以下为四款PEEK晶圆盒专用产品介绍。

310WA251

应用领域：主要用于初代晶圆盒，已经稳定量产。

表面电阻率：10⁴- 10⁶。

310WA252

应用领域：针对新一代晶圆盒的创新之作，代表了市场上新一代的防静电产品，已经通过了客户的验证阶段，目前为主推型号。

表面电阻率：可稳定在10⁶ -10^9 。定制化：可根据客户需求调整表面电阻率，提供定制化服务。

310WA253

客户定制款310WA254

表面电阻率：10^5-10^9 ，具有更宽的应用范围。外观：产品外观鲜亮，加工后的晶圆盒光滑平整，无明显花纹和流痕。