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聚四氟乙烯的特性使四氟O型密封圈能在较宽温度区间稳定工作，‌ 可适应高温环境下的热稳定性和低温环境下的柔韧性 ‌，在极端温度波动...半导体晶圆加工设备中，四氟O型密封圈的耐等离子体腐蚀特性可适配蚀刻、沉积等工艺环节；...