全球光刻机市场进入史无前例的供不应求周期：ASML三季度净利润暴涨133%、营收创历史新高，订单已排至2030年；佳能宣布明年产能翻倍，蔡司订单排至2027年。与此同时，中国大陆采购DUV设备回暖至23%占比，国产EUV光源样机首次亮相工博会。两条线并行——全球抢机器，国内补缺口。
116.6
亿欧元
ASML Q3净销售额，创单季历史新高
49.6
亿欧元
Q3净利润，同比暴涨133%
57.5
%
毛利率，超出指引区间上限
2030
年
已有客户询问该年度订单
23
%
中国大陆本季占ASML净销售额占比
90
%
国产EUV光源样机国产化率
为什么2026年集中爆单？
①
AI驱动先进制程扩产
AI算力军备竞赛推动台积电、三星、SK海力士加快逻辑与存储芯片产能建设，EUV、ArFi设备需求同步激增
。
②
存量设备升级需求爆发
客户在现有产线上购买生产效率升级方案，ASML"安装基础管理业务"单季达32.89亿欧元，高于29亿欧元指引——这正是净利润大幅超预期的主因
。
③
先进封装拉动后道光刻
HBM等先进封装工艺兴起，尼康启动更高精度数字光刻设备研发，佳能先进后道设备询价从2025年中开始急增
。
订单谈到2030年! 国际巨头, 业绩爆发
北京日报
q3净利暴涨133.4%! asml: 客户开始订购2030年设备!
芯智讯
asml财报出炉, 光刻机需求排到2030年
袁遗说科技
全球光刻产业链同步扩产
ASML
订单已排至2030年，计划超30%扩产
明年将低数值孔径EUV和浸没式DUV产能各提高30%，并探索2028年超出该增幅的方案；部分关键产品定价谈判已完成，将提价
。
佳能
明年半导体光刻设备产量最高接近今年两倍
利用去年建成的宇都宫新厂落实增产，主要面向成熟制程；先进后道光刻设备计划到2029年产能较2026年提高50%
。
蔡司
光学核心订单排至2027年，正加速扩产
为EUV设备供应照明与投影光学系统，High-NA产线已具备量产条件；ASML累计向蔡司提供产能建设贷款19.1亿欧元+预付款11.9亿欧元
。
通快
EUV光源新财年订单和收入均两位数增长
光源系统是EUV光刻机三大核心零部件之一，通快为ASML EUV设备主要光源供应商
。
中国能拿到的和拿不到的
设备类型
中国大陆
制程节点
EUV（极紫外）
禁售
7nm及以下
ArFi 浸没DUV
受限
14~28nm
DUV（成熟制程）
可采购
28nm及以上
本季中国大陆采购额约26.8亿欧元，全为DUV
Q3中国大陆占ASML净销售额23%，环比回升9个百分点，但与峰值时期49%仍有差距；全部为成熟制程DUV设备，EUV一台未售
。
成熟制程满足国内70%以上工业需求
汽车电子、工业控制、电源管理芯片均依赖成熟工艺；新能源与工控扩张持续拉动DUV采购，国内晶圆厂务实采购合规设备稳住产能底盘
。
中国市场占23%, 阿斯麦不同意对华禁售duv
观察者网军工频道
没想到! 国内持续购入光刻机, asml业绩这次稳了
春雨说数码
ASML反对禁售DUV，但决定权不在它
戴厚杰
ASML首席财务官
财报后记者会
"推进限制DUV对华出口完全是一个糟糕的主意，如果法案在美国国会通过，反而只会加速中国自主研发同类竞争性技术的步伐。"
但他补充：乐观认为"常识最终会占上风"
商业动机：23%营收让ASML有强烈反对理由
戴厚杰预计2026全年中国大陆占比约20%，对ASML而言是不可忽视的营收来源
。
决策权归属：美国政府和国会，不是ASML
过去数年EUV出口管制逐步收紧，由美方主导；ASML的反对表态仅为商业立场，不能替代政策走向
。
国产EUV光源样机：从0到1，差几步？
已完成
EUV光源系统样机首次公开展示
上海朗道燧岩在第26届中国国际工业博览会展示样机，国产化率90%，技术路线与国际主流一致，已能用于芯片曝光测试
。
EUV光刻机三大核心零部件
① EUV光源系统（光路激发）
② 光学系统（蔡司供应，精密镜组）
③ 精密运动平台（硅片与掩模的纳米级对准）
——光源只是其中之一，另外两个同样受海外垄断
。
国产突破
EUV光源样机
90%国产化，阶段性工程验证，距量产约3-5年
测试验证中
28nm DUV浸没式光刻机
上海微电子SSA800，仍在集成电路研发中心测试验证
设备缺口如何传导到终端？
①
光刻设备供给不足
2027-2028年供应确认无法满足需求，ASML正研究超30%的额外扩产方案
。
②
晶圆厂扩产节奏受阻
拿不到设备的晶圆厂无法按计划扩产线，芯片产能释放推迟。
③
先进芯片供应趋紧，价格承压
ASML已完成关键产品提价谈判，设备成本上移将向晶圆代工费率传导
。
④
AI算力成本缓慢抬升
GPU/HBM制造成本压力上移，AI推理与训练成本2027年后将面临更大压力，供应缺口最快2028年后才可能缓解
。
全线扩产仍供不应求, 光刻机被抢疯了
袁遗说科技
蔡司high-na euv爆单, 订单排至2027年
袁遗说科技
asml三季报净销售额116.6亿欧元创新高 净利润50亿欧元
信息的世界
国内成都造光刻机：错位突破细分市场
中特微首批"双流造"光刻机11月初发货
订单金额突破1亿元，主供光芯片、显示半导体、LED等领域；产品为微米级接近式光刻机，单价约25-30万美元，与EUV的逾亿欧元相去甚远
。
避开EUV/DUV投影主战场，拿下80%细分市场
精准布局近紫外接近式光刻，海外巨头SUSS、DNK、EVG对该细分定制化投入薄弱；中特微光显示领域市占率约80%，明年产能预计300台
。