ASML这回可能押错宝了。
上海微电子那台28纳米光刻机组装车间照片流出，三轴校准台用的是沈阳机床厂零件。调试日志显示去年十月就完成双工件台测试，比原计划提前四个月。有工程师在领英发过激光干涉仪参数，定位精度达到1.3纳米。
华为松山湖基地最近清退了六台ASML的NXT:1980Di，设备科的人在二手平台挂售真空腔体配件。这些机器原本用来生产车载芯片，现在换成自研的SSA800A。虽然晶圆吞吐量降了三分之一，但良品率稳定在92%。
阿斯麦财报显示中国区营收环比下跌四成，但维修服务收入涨了六倍。苏州封测厂的老李说，现在每台DUV设备都配三个荷兰技师，连更换滤光片都要总部授权。这种严防死守反而催生了不少逆向工程工作室，东莞就有三家在做沉浸式液冷系统的仿制。
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东海碧泉
每台DUV更换滤光片都要总部授权，是不是怕中国人部分升级，然后能干EUV的活？[开怀大笑][哭笑不得]
用户10xxx02 回复 05-28 08:19
干不了，光源还有其他很多硬件都不一样！只能说有部分改进，但是达不到极紫光光刻机的水平！
用户12xxx24
SSA800 是上海微电子的产品 说中国自研的还差不多
用户18xxx03
华为全供应链都尽量换国产！
风的芳草香 回复 05-28 16:24
28纳米光刻机也分好多型号，干式和湿式区别很大，用重复曝光的话，双工台的精度水平也很重要。 目前国产还没出湿式也就是浸没式duv， 出了浸没式做多重曝光就容易多了。 华为已经可以量产5纳米x90 芯片了，国产进度已经很快了，一口吃不成个胖子，阿斯麦也是一点点进步的，他走了多少年，中国才走了几年？ 还别人天天在网上瞎吹，你不是只能在网上啥也不懂瞎逼逼么？
风的芳草香 回复 05-28 16:17
你了解？你是光刻机行业的？
哥是文艺禽年
每台三个荷兰人。荷兰人工作真好找。
用户10xxx77 回复 05-28 13:15
一共就十台八台的，荷兰那边应聘也是很激烈的
玄蓝风 回复 05-28 15:32
真的突破了，就要荷兰佬下锅
paradise
AI文，不过华为5nm产品上线，能说明问题
月亮上有流氓兔
加油中国研发，替代进口
风的芳草香
浸没式冷却做完了，阿斯麦的duv就卖不动了。
一览众山小乎
脚踏实地，莫吹牛逼
长江三叠浪
光刻机工厂怎么不提了？？？