突破!突破!突破!中国有了自己的光刻机!据凤凰新闻,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”在杭州出炉
这把“中国刻刀”是浙江大学团队搞出来的,能在芯片上“手写”电路,精度到0.6纳米,比头发丝的万分之一还细。它不用传统光刻机那些复杂的掩膜版,画错了随时改,特别适合搞量子芯片研发。
过去这类高端设备国外卡脖子,中科大、之江实验室想买都买不到。现在“羲之”一出来,直接打破垄断,价格还比国外的便宜,华为海思这些大厂已经排队谈合作了。
不过专家也说了,这东西目前主要用在研发上,量产芯片还得靠传统光刻机。因为电子束“写字”速度慢,一片晶圆得写好久,效率差光学光刻机一大截。咱自己的高精尖装备从无到有,这一步迈得不容易。虽然前路还长,但手里有了工具,心里就有了底气。