韩媒报道,长鑫存储(CXMT)目前正在合肥测试一条键合DRAM的试点生产线,旨在无需使用EUV光刻技术即可实现高性能DRAM。
键合DRAM是一种技术,其中存储单元阵列和外围电路分别在不同的晶圆上制造,然后键合在一起。这种方法能够仅使用深紫外(DUV)光刻结合多重图案化技术生产超高密度DRAM,从而无需EUV设备。
一旦实现量产,将彻底打破三星和海力士在高端内存的垄断。

韩媒报道,长鑫存储(CXMT)目前正在合肥测试一条键合DRAM的试点生产线,旨在无需使用EUV光刻技术即可实现高性能DRAM。
键合DRAM是一种技术,其中存储单元阵列和外围电路分别在不同的晶圆上制造,然后键合在一起。这种方法能够仅使用深紫外(DUV)光刻结合多重图案化技术生产超高密度DRAM,从而无需EUV设备。
一旦实现量产,将彻底打破三星和海力士在高端内存的垄断。

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