六氟化钨+电子特气 核心关联10家

1、中船特气

核心主营电子特种气体。拥有2000吨/年6N级六氟化钨产能，适配3D NAND、HBM及先进逻辑芯片制程，供货全球主流晶圆厂；是国内首批切入5nm先进制程的电子特气企业，核心产品包含六氟化钨、三氟化氮、光刻混合气等。

2、昊华科技

主营高端氟材料、电子化学品。旗下昊华气体具备600吨/年6N级六氟化钨产能，适配14nm及以上制程，供货国内外存储芯片企业；作为国家级特种气体研发基地，多款特气市占率领先，获大基金二期战略加持。

3、中巨芯

主营电子湿化学品、电子特气。拥有600吨/年六氟化钨产能（合资子公司生产），6N级产品已通过主流半导体客户认证、批量供货；核心布局高纯六氟化钨、高纯氯气、氟碳类等半导体蚀刻、清洗专用电子气体。

4、华特气体

专精特种气体赛道。国内首家实现6N级电子级六氟化钨量产并通过头部晶圆厂认证，现有200吨/年产能且稳定供货；为国内光刻气国产化龙头，覆盖近百种特气，具备合成、提纯、充装、检测全流程自研能力。

5、和远气体

布局工业气体与高端电子特气。宜昌产业园500吨/年6N级六氟化钨项目2026年4月试产完成，现阶段推进半导体客户验厂与资质认证；搭建两大电子特气产业园，产品覆盖三氟化氮、六氟化钨等核心半导体用气。

6、多氟多

依托氟化工全产业链优势，布局电子化学品、锂电材料。建成1200吨/年高纯六氟化钨产线，可量产5N、6N双品级产品，5N级产品已通过头部晶圆厂认证；同步布局电子级氢氟酸、三氟化氮等多款主流电子特气。

7、巨化股份

主营氟化工及半导体电子化学品。通过控股子公司中巨芯实现六氟化钨量产，本部配套供应高纯氟化氢、氟气等核心原料；同时量产三氟化氮、电子级氯化氢等特气，叠加半导体氟化液业务，形成完整电子化学品矩阵。

8、广钢气体

国内电子大宗气体龙头，积极向高端特气延伸。重点推进六氟化钨产线建设与下游客户认证，依托大宗气体的客户与技术积累，拓展六氟丁二烯、高纯六氟化钨等高附加值电子特气，完善半导体用气布局。

9、金宏气体

民营电子特气核心企业。拥有200-300吨/年六氟化钨产能，涵盖5N工业级、少量6N电子级产品，已通过头部晶圆厂验证并小批量供货；超纯氨、高纯氧化亚氮等多款特气产品稳定配套头部半导体企业。

10、雅克科技

聚焦半导体材料与高端电子特气。已实现6N级六氟化钨量产并通过国内部分晶圆厂认证；核心特气产品覆盖四氟化碳、六氟化硫，同时布局六氟化钨、六氟化钼等高端品类，产品获ASML子公司认证。

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