电子特气概念上游氟化工原料(特气上游配套,间接受益扩产)1. 巨化股份 600160:国内氟化工全产业链龙头,供应电子级氟化氢、高纯氟气,六氟化钨核心原料2. 多氟多 002407:UP-SSS级电子氢氟酸,氟系特气生产辅助原料3. 厦门钨业 600549:六氟化钨上游钨粉核心供应商,受益WF6产能扩张赛道核心逻辑速记1. 六氟化钨(AI先进制程最强弹性):中船特气(绝对龙头)>中巨芯>昊华科技2. 光刻气/稀有混合气(认证壁垒最高):华特气体(ASML双认证)、凯美特气3. 掺杂氢化物(磷烷/砷烷):南大光电(国内唯一量产)4. 六氟丁二烯(先进刻蚀):昊华科技(全球第一)、中船特气5. 超纯氨/大宗载气:金宏气体、和远气体、广钢气体6. 上游氟原料:巨化股份、多氟多