SemiAnalysis分析了华为麒麟9030,我重点关注了它对于制造工艺N+3的推断,有以下几个点:1、测试显示N+3 最小金属间距 32.5nm,小于 Intel 18A(36nm);逻辑晶体管密度对标台积电 N6(6nm),是纯 DUV 无 EUV 下的极限密度成果。结论是华为仅靠3–4 重 DUV 多重曝光 + 设计工艺协同实现微缩,在DUV下做到了6纳米,做到极致了。2、金属间距单一指标不代表整体工艺水平。其晶体管开关速度、漏电、SRAM 密度、良率全面落后国际先进节点。多重曝光带来极高制造成本、更低良率(50%–60%,台积电 N6 良率 90%+)、更大片上热不均。有好有坏,都在预期之内。进步很大,在受限条件下做到了最好,但是在这条路线上追赶难度很大,既有困难也比较难以克服。所以华为才搞了韬定律,从第二条路线上往前追。韬定律横空出世有其必然性,也确实是现实可行的路子,基于这个路线的第一颗芯片2026年就要面世。半导体科技突围进入了第二阶段。
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